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PECVD系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及工藝原理說明

PECVD系統(tǒng)具有優(yōu)良的電學性能、良好的襯底附著性以及臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。適用于室溫至1200℃條件下進行Si02、SiNx薄膜的沉積，同時可實現(xiàn)TEOS源沉積，Sic膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合干有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。膜制備工藝在超大規(guī)模集成電路技術(shù)中有著非常廣泛的應(yīng)用，按照其成膜方法可分為兩大類：物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)。等離子增強型...

除氣壓燒結(jié)外，氣壓燒結(jié)爐還可用于哪些材料？

氣壓燒結(jié)爐適用于那些在溫度升高時容易分解或常規(guī)燒結(jié)方法不能得到高密度的陶瓷或金屬材料。不像熱壓爐那樣對產(chǎn)品形狀有所限制，還可用于氮化硅、硅鋁氧氮陶瓷、碳化硅、高溫合金，硬質(zhì)合金及常規(guī)的復(fù)合材料。非常適用于各種陶瓷及金屬材料的燒結(jié)工藝，尤其是對溫度升高后材料本身會分解及在常規(guī)方法燒結(jié)硬度達不到要求的材料。這種加工方法對于需要經(jīng)過高溫擠壓形成的零件的外形沒有局限性，并且對于等靜壓加工也是不錯的選擇。主要應(yīng)用：1、應(yīng)用于那些不能通過普通燒結(jié)達到高致密性和特殊性能的材料，但需要要求較...

高溫管式爐是自然空氣隔熱式，輕巧易搬運

高溫管式爐主要供合金鋼制品、各種金屬機件正火、淬火、退火等熱處理之用，或金剛石等切割刀片進行高溫燒結(jié)用途。工件在高溫熱處理爐內(nèi)進行加熱，不僅要考慮加熱速度，加熱溫度和加熱的均勻性，而且還要考慮加熱時間，目的是利用加熱時間保證工件組織的轉(zhuǎn)變和化學作用的完成。加熱時間的延長有利于改善工件加熱的溫度均勻性，減小溫度應(yīng)力對工件的影響，但過度的延長加熱時間，不僅浪費能源，而且也會對工件的性能產(chǎn)生負面影響，引起工件的某些缺陷，如過熱、過度氧化等。加熱時間過短，則會造成加熱不均勻，使得變形...

真空熱壓爐在技術(shù)上有哪些特點？

真空熱壓爐是靶極材料、納米陶瓷材料、釹鐵硼材料等新型材料的理想設(shè)備，主要供大專院校、科研單位針對無機材料在真空（或保護氣氛）熱壓條件下進行燒結(jié)處理，以便獲得高致密度的產(chǎn)品。爐體部分：爐體為立式爐殼其內(nèi)層為不銹鋼制成的園筒外層為碳鋼。兩層之間形成夾套可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走，使爐壁溫度不超過60℃，其上下法蘭焊接為一個整體。中間開有紅外測溫孔（有保護氣氛通氣口），熱電偶測溫孔、抽氣孔及觀察孔，鉑銠熱電偶有到溫自動退出裝置，紅外測溫觀察孔有玻璃氣吹防霧裝置，操作人員使用...

多溫區(qū)管式爐具有穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠

多溫區(qū)管式爐包括雙溫區(qū)、三溫區(qū)、五溫區(qū)，每個溫區(qū)可以單獨控溫，主要適用于真空或保護氣氛中，多種溫度段下材料的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫熱解、低溫沉積工藝，碳納米管及碳納米線的制備等。主要針對實驗室在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理，優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性。產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，選用質(zhì)優(yōu)的硅鉬棒發(fā)熱元件作為發(fā)熱體；爐管材質(zhì)優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進氣口和出氣口，可通入保護氣體，不銹鋼法蘭快開設(shè)計，方便...

管式電爐的安裝與使用

管式電爐采用可靠的集成化電路，工作環(huán)境好，抗干擾，最高溫度時爐體外殼溫度≤50℃大大提高了工作環(huán)境。廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發(fā)、特種材料、建材等領(lǐng)域。工作原理：熱電偶將爐溫轉(zhuǎn)變成電壓信號后，加在微電腦溫度控制調(diào)節(jié)儀上。調(diào)節(jié)儀將此信號與程控設(shè)定相比較，輸出一個可調(diào)信號。再用可調(diào)信號控制觸發(fā)器，再有觸發(fā)器觸發(fā)調(diào)壓器，達到調(diào)節(jié)電爐電壓和電爐溫度的目的。安裝與使用：1、管式電爐不需特殊安裝，室內(nèi)平整的地面或工作臺上均可安放。但配套的控制器應(yīng)避免震...

了解什么是SPS燒結(jié)爐

SPS燒結(jié)爐，全稱為SparkPlasmaSintering（放電等離子燒結(jié)）爐，是一種在材料科學、物理學、航空、航天科學技術(shù)等領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用的工藝試驗儀器。其作為一種先進的材料制備技術(shù)，具有升溫速度快、燒結(jié)時間短、組織結(jié)構(gòu)可控、節(jié)能環(huán)保等顯著特點，尤其適用于制備金屬材料、陶瓷材料、復(fù)合材料以及納米塊體材料、非晶塊體材料、梯度材料等。一、SPS燒結(jié)爐的基本原理SPS燒結(jié)爐的基本原理是利用脈沖能、放電脈沖壓力和焦耳熱產(chǎn)生的瞬時高溫場來實現(xiàn)材料的燒結(jié)過程。在燒結(jié)過程中，顆粒之間放...

真空熱壓爐是一種多功能真空設(shè)備

真空熱壓爐為周期作業(yè)式，可供硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結(jié)處理，也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結(jié)。它是在真空狀態(tài)下把工件加熱到要求的溫度后，上下壓頭移動使工件壓縮變形，從而工件材料達到除雜凈化、高密度等的工藝要求。除在真空狀態(tài)下高溫加壓能夠制造多種復(fù)合材料，還可以進行高溫燒結(jié)，是一種多功能真空設(shè)備。它有電阻加熱方式和電磁感應(yīng)加熱方式兩種爐型。主要供大專院校、科研單位針對無機材料在真空（或保護氣氛）熱壓條件下進行燒結(jié)處理，以便獲得高致密度的產(chǎn)品。...